中国十大光刻机企业 1上海微电子 2北京华卓精科 3科益虹源光电

　　这家公司是在 2002 年成立的，那可是我们中国顶呱呱的半导体设备制造商。专门鼓捣研发、制造还有卖半导体微影设备，像光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备之类的都有。人家已经成功弄出了 90 纳米、110 纳米、280 纳米还有 55 纳米这四大系列的国产光刻机，在集成电路、平板显示、微电子这些个领域都用得可广了。

　　这可是我们国内头一家弄光刻机双工件台的厂商，是个技术很厉害的科学技术创新型公司。主要是弄超精密测控装备的部件还有整机，那个精密运动系统是人家主要赚钱的业务。2020 年 7 月的时候，此公司入选了 2020 年度第一批北京市那个 “专精特新” 的中小企业名单。此公司不光这个，还是高新技术企业，又是专精特新 “小巨人” 企业，还是瞪羚企业。人家还有自己的企业技术中心。

　　2010 年成立的，专门研究高性能激光光源系统，是个挺有创新精神的企业。人家成功搞出了高能准分子激光器，这可是给我们国产光刻机提供了关键技术上的支持。2017 年的时候，此公司自己研发设计生产的第一台准分子激光器顺顺利利地通过了出厂验收。这可不得了，一下子就填补了我们国内在准分子激光技术这块的空白，还打破了国外厂家长期以来的市场垄断。

　　这么多年研发下来，此公司已经攻克了八十多项核心技术。在好多技术领域都把国内的空白给填上了，有一些技术都达到国际上的领先水平。同时，针对那个 DUV 光刻光源的各个核心模块，搞了个 “全局覆盖、重点突破” 的专利布局。还建立起了相对挺完备的光源产品国内知识产权以及法律风险应对的体系。到现在，已经累计申请了二百二十九项专利，这里边国内发明专利申请有一百七十一项，国际发明专利申请有八项。累计授权的专利有一百二十三项，其中国内发明专利授权五十五项，国外发明授权专利有十二项。此公司还是国家 02 重大专项光刻准分子激光器成果转化落地的单位，也是光刻机零部件技术创新中心的牵头单位。

　　2002 年成立的，专门搞研发、制造还有卖半导体设备。光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备这些都有。人家成功研发出了 193 纳米的 ArF 干法光刻机，还在集成电路制造领域用得挺好。

　　2002 年成立的，专门弄研发、制造还有卖光学设备。光刻机、投影仪、显微镜之类的都有。人家成功弄出了高分辨率光刻机，在集成电路制造领域也派上用场了。

　　2001 年成立的，专门搞研发、制造还有卖半导体设备。光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备之类的都有。人家成功研发出了 248 纳米的 ArF 干法光刻机，在集成电路制造领域也用得不错。2023 年，北方华创在那个 Gartner 全球集成电路装备企业排名里，在中国那可是排到了第一位。2023 年这一年，营业收入有 220.79 亿元，归母净利润是 38.99 亿元。这下子，北方华创正式迈进了 “百亿级” 的发展新阶段。到 2023 年年底的时候，此公司累计申请的专利有七千九百多件，累计获得授权的专利有四千六百多件。还得了好多厉害的奖呢，像国家卓越工程师团队、中国专利银奖这些奖。以前还拿过国家科学技术进步二等奖一项，北京市科技奖十二项，集成电路行业奖三十二项等等。

　　2020 年 12 月的时候，此公司的 PECVD 产品研制团队得了北京市模范集体的称号。到了 2024 年 1 月 19 号，公司的 12 英寸减压外延团队又被授予了 “国家卓越工程师团队” 的称号。

　　在我们国内，这是少数搞先进封装直写光刻设备开发的供应商。人家的直写光刻设备在再布线、互联、智能纠偏这样一些方面都可有优势了。在 PCB 光刻直写设备这一块，此公司那可是国产的龙头老大。2021 年的时候，在全球的市场占有率有 8.1% 。从成立以来，此公司先后得了不少厉害的名号，像 “科技小巨人培育企业”“合肥市直写光刻设备工程技术研究中心”“国家高新技术企业”，还有 “2018 年度中国电子电路行业百强企业”“2021 年度科创板硬科技领军企业” 等等好多荣誉。

　　专门搞光刻设备还有配套设备的研发、生产和销售，技术实力挺强，发展的潜在能力也不小。此公司的产品，有 PCB 用的激光直接成像（LDI）设备，还有半导体掩模版用的激光直写制版光刻设备。这么多年来，一直不停地搞研发创新，可算把激光直写光刻的核心技术给掌握了。在 PCB 与半导体装备这块，完成了一些高端光刻设备的大突破，还搞了产业化应用。在我们国内的光刻设备行业里，地位可不低。

　　在半导体设备这样的领域有点研发和生产的本事，也涉及光刻机的有关技术和产品。这家苏州晶拓半导体科技有限公司在江苏省苏州市的苏州工业园区那块。此公司可厉害了，已经给全球的光伏电池生产企业、半导体晶圆厂还有 LED 芯片那些地方的差不多 600 条生产线提供设备和服务。它家的产品那可是到处都有，在中国大陆、台湾，还有印度、泰国、新加坡、马来西亚、越南、美国这一些地方的市场上都能瞅见。此公司现在成了全球顶级规模的工业领域里搞臭氧相关设备的供应商。

　　2014 年成立的，主要是搞极紫外光刻的关键技术探讨研究，还有光学系统的研发和制造。给我们的祖国光刻机技术的发展提供了不少支撑。这家长春国科精密光学技术有限公司的总部在吉林省长春市，在上海还设了个专门搞高端光刻机照明系统研发的分公司。这公司是国企，总共有二百来号人，上海那个分公司，有七十多个人。2016 年的时候，此公司弄出了我们的祖国第一套能给高端 IC 制造用的投影光刻机曝光光学系统，顺顺当当地交给用户了。这可不得了，这就标志着我们的祖国的超精密光学技术已能在国际上排上号了。另外，此公司还接着搞 na0.82、na1.35 这些好几种类型的高端 IC 制造投影光刻机曝光光学系统的研发技术，还使劲推进产业化。

　　美西方国家越打压围堵中国反弹的就越高，就像篮球一样拍的越用力弹起高度就越高，这恐怕就是典型的中华民族气概吧！

　　相信市场，只要中国的光刻机技术有突飞猛进的发展。政策得当的话，全球各路高手都会来助一臂之力。只要能把差距拉到2-3代以内。就可以期待看飞翔表演了

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